Fabrication of stacked NbN/TiNx/NbN josephson junctions using an inductively coupled plasma etching technique

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE transactions on applied superconductivity 2007-06, Vol.17 (2), p.210-213
Hauptverfasser:	SHOJI, Akira, KODA, Nobuko, YAMAMORI, Hirotake
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices Superconducting devices
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