Theoretical investigation of pulsed microwave discharge in nitrogen

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Plasma sources science & technology 1999-08, Vol.8 (3), p.404-411
Hauptverfasser: Baeva, M, Luo, X, Pfelzer, B, Uhlenbusch, J
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0963-0252
1361-6595
DOI:10.1088/0963-0252/8/3/310