Plasma distribution in a triple-cathode vacuum arc deposition apparatus

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Plasma sources science & technology 1999-08, Vol.8 (3), p.355-362
Hauptverfasser:	Ben-Ami, R, Zhitomirsky, V N, Boxman, R L, Goldsmith, S
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Discharge in vacuum Electric discharges Exact sciences and technology Particle beam interactions in plasma Physics Physics of gases, plasmas and electric discharges Physics of plasmas and electric discharges Plasma applications Plasma interactions (nonlaser)
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