Critical parameters in the sputter-deposition of NdBa2Cu3O7-δ thin films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Superconductor science & technology 1999-08, Vol.12 (8), p.481-485
Hauptverfasser:	HAKURAKU, Y, MORI, Z, KOBA, S, YOKOYAMA, N, DOI, T, INOUE, T
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: electronic structure, electrical, magnetic, and optical properties Cross-disciplinary physics: materials science rheology Deposition by sputtering Exact sciences and technology High-tc films Materials science Methods of deposition of films and coatings film growth and epitaxy Physics Superconducting films and low-dimensional structures Superconductivity
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