Control of nitrogen atomic density and enthalpy flow into reaction chamber in Ar/N2 pulse-modulated induction thermal plasmas

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	TANAKA, Yasunori, MUROYA, Takafumi, HAYASHI, Kouhei, UESUGI, Yoshihiko
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Exact sciences and technology Physics Physics of gases, plasmas and electric discharges Physics of plasmas and electric discharges Plasma devices Plasma torches
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