Plasma boundary sheath in the afterglow of a pulsed inductively coupled RF plasma

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Plasma sources science & technology 2007-05, Vol.16 (2), p.355-363
Hauptverfasser:	Osiac, M, Schwarz-Selinger, T, O'Connell, D, Heil, B, Petrovic, Z Lj, Turner, M M, Gans, T, Czarnetzki, U
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Discharges for spectral sources (including inductively coupled plasmas) Electric and magnetic measurements Electric discharges Exact sciences and technology Optical (ultraviolet, visible, infrared) measurements Physics Physics of gases, plasmas and electric discharges Physics of plasmas and electric discharges Plasma diagnostic techniques and instrumentation Plasma interactions (nonlaser) Plasma sheaths
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