Designing an efficient microwave-plasma source, independent of operating conditions, at atmospheric pressure

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Plasma sources science & technology 2007-02, Vol.16 (1), p.173-182
Hauptverfasser:	Fleisch, T, Kabouzi, Y, Moisan, M, Pollak, J, Castaños-Martínez, E, Nowakowska, H, Zakrzewski, Z
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Circuit properties Electric, optical and optoelectronic circuits Electronics Exact sciences and technology Microwave circuits, microwave integrated circuits, microwave transmission lines, submillimeter wave circuits Physics Physics of gases, plasmas and electric discharges Physics of plasmas and electric discharges Plasma production and heating Plasma sources
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