Nanometer-scale laser direct-write using near-field optics : Laser direct-write processing

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	MRS bulletin 2007, Vol.32 (1), p.16-22
Hauptverfasser:	GRIGOROPOULOS, Costas P, HWANG, David J, CHIMMALGI, Anant
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Materials science Methods of deposition of films and coatings film growth and epitaxy Nanoscale materials and structures: fabrication and characterization Physics
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