Colloidchemical interactions of silica particles in the cu-CMP-process

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	NENNEMANN, Arno, VOETZ, Matthias, HEY, Gabriele, PUPPE, Lothar, KIRCHMEYER, Stephan
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Chemistry Colloidal state and disperse state Exact sciences and technology General and physical chemistry Physical and chemical studies. Granulometry. Electrokinetic phenomena
Online-Zugang:	Volltext
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