Optical lithography : present and future challenges: Ultimate lithography

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Comptes rendus. Physique 2006, Vol.7 (8), p.858-874
1. Verfasser:	LIN, Burn J
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Design. Technologies. Operation analysis. Testing Electronics Exact sciences and technology Integrated circuits Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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