Study of silicide contacts to SiGe source/drain

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	LAUWERS, A, VAN DAL, M. J. H, VERHEYEN, P, CHAMIRIAN, O, DEMEURISSE, C, MERTENS, S, VRANCKEN, C, VERHEYDEN, K, FUNK, K, KITTL, J. A
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Exact sciences and technology Instruments, apparatus, components and techniques common to several branches of physics and astronomy Physics Scanning probe microscopes, components and techniques
Online-Zugang:	Volltext
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