Silicon surface morphologies after femtosecond laser irradiation: Ultrafast Lasers in Materials Research

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:MRS bulletin 2006, Vol.31 (8), p.626-633
Hauptverfasser: TULL, Brian R, CAREY, James E, MAZUR, Eric, MCDONALD, Joel P, YALISOVE, Steven M
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0883-7694
1938-1425