Physically based quantum-mechanical compact model of MOS devices substrate-injected tunneling current through ultrathin (EOT ∼ 1 nm) SiO2 and high-κ gate stacks

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE transactions on electron devices 2006, Vol.53 (5), p.1096-1106
Hauptverfasser: FEI LI, MUDANAI, Sivakumar P, FAN, Yang-Yu, REGISTER, Leonard Franklin, BANERJEE, Sanjay K
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0018-9383
1557-9646