Physically based quantum-mechanical compact model of MOS devices substrate-injected tunneling current through ultrathin (EOT ∼ 1 nm) SiO2 and high-κ gate stacks
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Veröffentlicht in: | IEEE transactions on electron devices 2006, Vol.53 (5), p.1096-1106 |
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Hauptverfasser: | , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0018-9383 1557-9646 |