High deposition rate magnetrons : key elements and advantages

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Surface engineering 2006, Vol.22 (1), p.5-10
Hauptverfasser:	MITIN, V. S, SHARIPOV, E. I, MITIN, A. V
Format:	Artikel
Sprache:	rus
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:	0267-0844 1743-2944