Electrical characteristics of high-k dielectric film grown by direct sputtering method

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Solid-state electronics 2006, Vol.50 (2), p.237-240
Hauptverfasser:	SEN, Banani, SARKAR, C. K, HEI WONG, CHAN, M, KOK, C. W
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Dielectric, amorphous and glass solid devices Electronics Exact sciences and technology Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:	0038-1101 1879-2405