Characterization on ESD devices with test structures in silicon germanium RF BiCMOS process

Different electrostatic discharge (ESD) devices in a 0.35-/spl mu/m silicon germanium (SiGe) RF BiCMOS process are characterized in detail by a transmission line pulse (TLP) generator and ESD simulator for on-chip ESD protection design. The test structures of diodes with different p-n junctions and...

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Hauptverfasser: KER, Ming-Dou, WU, Woei-Lin, CHANG, Chyh-Yih
Format: Tagungsbericht
Sprache:eng
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