Chamberless plasma deposition of glass coatings on plastic

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Plasma sources science & technology 2005-08, Vol.14 (3), p.477-484
Hauptverfasser:	Nowling, G R, Yajima, M, Babayan, S E, Moravej, M, Yang, X, Hoffman, W, Hicks, R F
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Exact sciences and technology Physics Physics of gases, plasmas and electric discharges Physics of plasmas and electric discharges Plasma applications Plasma-based ion implantation and deposition
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