Growth of three-dimensional SiC clusters on Si modelled by KMC

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	SCHMIDT, A. A, KHARLAMOV, V. S, SAFONOV, K. L, TRUSHIN, Yu. V, ZHURKIN, E. E, CIMALLA, V, AMBACHER, O, PEZOLDT, J
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	rus
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!