Replication technology for optical microsystems: Optics in Switzerland

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Optics and lasers in engineering 2005, Vol.43 (3-5), p.373-386
Hauptverfasser:	GALE, Michael T, GIMKIEWICZ, Christiane, OBI, Samuel, SCHNIEPER, Marc, SÖCHTIG, Jürgen, THIELE, Hans, WESTENHÖFER, Susanne
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Circuit properties Electric, optical and optoelectronic circuits Electronics Exact sciences and technology Fabrication techniques lithography, pattern transfer Integrated optics. Optical fibers and wave guides Optical and optoelectronic circuits
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