Electrochemical process for silicon tips fabrication

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	DANTAS, Michel O. S, GALEAZZO, Elisabete, PERES, Henrique E. M, RAMIREZ-FERNANDEZ, F. Javier
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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