Study of power balance in electronegative capacitively coupled plasmas

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	SWART, Laura, VERDONCK, Patrick, MOSHKALYOV, Stanislav A
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!