Hydrogenated amorphous silicon nitride deposited by DC magnetron sputtering

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	MOKEDDEM, K, SAYHI, M, AOUCHER, M, CHAMI, A. C, ABDESSELAM, M
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Compound structure devices Electronics Exact sciences and technology Materials Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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