Deep dry etching of silicon using Bosch type process

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	GUIDINI, Victor O, MOSHKALYOV, Stanislav A, TATSCH, Peter J
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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