Mid frequency sputtering with TwinMag® : a survey of recent results: Selected papers revised from the proceedings of the fourth international symposium on sputtering and plasma processes (ISSP'97)

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Vacuum 1998, Vol.51 (4), p.655-659
Hauptverfasser:	BRÄUER, G, RUSKE, M, SZCZYRBOWSKI, J, TESCHNER, G, ZMELTY, A
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Deposition by sputtering Exact sciences and technology Materials science Methods of deposition of films and coatings film growth and epitaxy Physics
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