Mechanism of nitrogen-enhanced negative bias temperature instability in pMOSFET: Negative-Bias-Temperature Instability (NBTI) in MOS devices special sectio n

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Microelectronics and reliability 2005, Vol.45 (1), p.19-30
Hauptverfasser: SHYUE SENG TAN, TU PEI CHEN, CHEW HOE ANG, LAP CHAN
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0026-2714