The influence of the ion bombardment on the optical properties of TiNx and ZrNx coatings

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	MITTERER, C, MAYRHOFER, P. H, WALDHAUSER, W, KELESOGLU, E, LOSBICHLER, P
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Deposition by sputtering Exact sciences and technology Materials science Methods of deposition of films and coatings film growth and epitaxy Physics
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!