On the nonlinear dynamics of tether suspensions for MEMS: Special Section on MEMS Modeling in Dynamics and Acoustics
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Veröffentlicht in: | Journal of vibration and acoustics 2004, Vol.126 (3), p.326-331 |
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Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 1048-9002 1528-8927 |