Layer-by-layer characterization of ultrathin films with secondary ion mass spectrometry

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	LI, Z, RICKMAN, R. D, VERKHOTUROV, S. V, SCHWEIKERT, E. A
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: electronic structure, electrical, magnetic, and optical properties Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Physics
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