Molecular dynamics simulation of silicon sputtering: sensitivity to the choice of potential

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	THIJSSE, B. J, KLAVER, T. P. C, HADDEMAN, E. F. C
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: electronic structure, electrical, magnetic, and optical properties Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Physics
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