Integrated model for the radio frequency induction plasma torch and power supply system

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Plasma sources science & technology 1998-11, Vol.7 (4), p.599-606
Hauptverfasser: Merkhouf, A, Boulos, M I
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0963-0252
1361-6595
DOI:10.1088/0963-0252/7/4/017