Integrated model for the radio frequency induction plasma torch and power supply system
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Veröffentlicht in: | Plasma sources science & technology 1998-11, Vol.7 (4), p.599-606 |
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Hauptverfasser: | , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | |
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ISSN: | 0963-0252 1361-6595 |
DOI: | 10.1088/0963-0252/7/4/017 |