Effect of annealing on ZnO thin films grown on (001) silicon substrate by low-pressure metalorganic chemical vapour deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Semiconductor science and technology 2004-06, Vol.19 (6), p.755-758
Hauptverfasser: Zhang, Yuantao, Du, Guotong, Yang, Xiaotian, Zhao, Baijun, Ma, Yan, Yang, Tianpeng, Ong, H C, Liu, Dali, Yang, Shuren
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0268-1242
1361-6641
DOI:10.1088/0268-1242/19/6/017