Micro-Raman spectroscopic investigation of NiSi films formed on BF+2-, B+ - and non-implanted (100)Si substrates

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied physics. A, Materials science & processing Materials science & processing, 2004-08, Vol.79 (3), p.637-642
Hauptverfasser:	DONTHU, S. K, CHI, D. Z, TRIPATHY, S, WONG, A. S. W, CHUA, S. J
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Lattice dynamics Phonons in low-dimensional structures and small particles Physics
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