Time-resolved microellipsometry for rapid thermal processes monitoring

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	SPESIVTSEV, E. V, RYKHLITSKY, S. V, SHVETS, V. A, CHIKICHEV, S. I, MARDEZHOV, A. S, NAZAROV, N. I, VOLODIN, V. A
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	rus
Online-Zugang:	Volltext
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