Lattice Monte Carlo models of thin film deposition: Process and materials modeling in IC fabrication

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Thin solid films 2000, Vol.365 (2), p.189-200
Hauptverfasser:	GILMER, George H, HUANG, Hanchen, DIAZ DE LA RUBIA, Tomas, DALLA TORRE, Jacques, BAUMANN, Frieder
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Cross-disciplinary physics: materials science rheology Deposition by sputtering Exact sciences and technology Materials science Methods of deposition of films and coatings film growth and epitaxy Physics Structure and morphology thickness Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) Theory and models of film growth Thin film structure and morphology
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:	0040-6090 1879-2731