Charge carrier dynamics in a pulsed inductive RF discharge in oxygen

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Plasma sources science & technology 2003-08, Vol.12 (3), p.475-483
Hauptverfasser:	Katsch, H M, Manthey, C, Döbele, H F
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Discharges for spectral sources (including inductively coupled plasma) Discharges for spectral sources (including inductively coupled plasmas) Electric discharges Exact sciences and technology High-frequency discharges Physics Physics of gases, plasmas and electric discharges Physics of plasmas and electric discharges
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