Charge carrier dynamics in a pulsed inductive RF discharge in oxygen

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Plasma sources science & technology 2003-08, Vol.12 (3), p.475-483
Hauptverfasser:	Katsch, H M, Manthey, C, Döbele, H F
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Discharges for spectral sources (including inductively coupled plasma) Discharges for spectral sources (including inductively coupled plasmas) Electric discharges Exact sciences and technology High-frequency discharges Physics Physics of gases, plasmas and electric discharges Physics of plasmas and electric discharges
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!