System control and management for low-cost high-volume GaAs manufacturing : Compound semiconductor microelectronics manufacturing

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	IEEE transactions on semiconductor manufacturing 2003, Vol.16 (3), p.390-398
Hauptverfasser:	ADAMS, Kevin M, COE, Mary Ellen, DELLA-MORROW, Celicia D, FLYNN, Kevin P, HERTLE, Jim, KLINGBEIL, L. Scott, PLOEGER, James B, TEBELAK, Dawn C
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices Transistors
Online-Zugang:	Volltext
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