Humidity sensors using porous silicon layer with mesa structure

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of physics. D, Applied physics Applied physics, 2000-08, Vol.33 (15), p.1781-1784
Hauptverfasser:	Kim, Seong-Jeen, Park, Jae-Yoon, Lee, Sang-Hoon, Yi, Seung-Hwan
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Exact sciences and technology General equipment and techniques Hygrometers Instruments, apparatus, components and techniques common to several branches of physics and astronomy Physics
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