Electronic structure of transition metal high-k dielectrics: interfacial band offset energies for microelectronic devices

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: LUCOVSKY, Gerald, RAYNER, Gilbert B, YU ZHANG, FULTON, Charles C, NEMANICH, Robert J, APPEL, Guenther, ADE, Harald, WHITTEN, Jerry L
Format: Tagungsbericht
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0169-4332
1873-5584