Influence of the three dimensionality of the HF electromagnetic field on resistivity variations in Si single crystals during FZ growths
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Veröffentlicht in: | Journal of crystal growth 2000, Vol.216 (1-4), p.204-219 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0022-0248 1873-5002 |