Influence of the three dimensionality of the HF electromagnetic field on resistivity variations in Si single crystals during FZ growths

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of crystal growth 2000, Vol.216 (1-4), p.204-219
Hauptverfasser: RATNIEKS, G, MUIZNIEKS, A, BULIGINS, L, RAMING, G, MÜHLBAUER, A, LÜDGE, A, RIEMANN, H
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0022-0248
1873-5002