'Semi-insulating' silicon using deep level impurity doping: problems and potential

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Semiconductor science and technology 2003-06, Vol.18 (6), p.517-524
Hauptverfasser: Mallik, Kanad, Falster, R J, Wilshaw, P R
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0268-1242
1361-6641
DOI:10.1088/0268-1242/18/6/321