The impact of single-wafer processing on semiconductor manufacturing : Single-wafer manufacturing in the nanochip era

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	IEEE transactions on semiconductor manufacturing 2003, Vol.16 (2), p.96-101
Hauptverfasser:	SINGH, Rajendra, FAKHRUDDIN, Mohammed, POOLE, Kelvin F
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Design. Technologies. Operation analysis. Testing Electronics Exact sciences and technology Integrated circuits Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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