Characteristics of an ion induced secondary emission electron gun

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Plasma sources science & technology 2003-05, Vol.12 (2), p.235-243
Hauptverfasser:	Chalise, Priya R, Watanabe, Masato, Okino, Akitoshi, Ko, Kwang-cheol, Hotta, Eiki
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Exact sciences and technology Physics Physics of gases, plasmas and electric discharges Physics of plasmas and electric discharges Plasma production and heating Plasma sources
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