Mechanical properties of nanocomposite TiN/Si3N4films synthesized by ion beam assisted deposition (IBAD)

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Veröffentlicht in:Journal of tribology 2003, Vol.125 (2), p.445-447
Hauptverfasser: CHENHUI ZHANG, JIANBIN LUO, WENZHI LI, DARONG CHEN
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0742-4787
1528-8897