Diamond-based surface acoustic wave devices: Diamond Electronics

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Semiconductor science and technology 2003, Vol.18 (3), p.S96-S104
Hauptverfasser:	NAKAHATA, H, FUJII, S, HIGAKI, K, HACHIGO, A, KITABAYASHI, H, SHIKATA, S, FUJIMORI, N
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Acoustical properties of solids Chemical vapor deposition (including plasma-enhanced cvd, mocvd, etc.) Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Materials science Mechanical and acoustical properties of condensed matter Methods of deposition of films and coatings film growth and epitaxy Physics
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:	0268-1242 1361-6641