Specific behaviour of stress relaxation in GexSi1−x films grown on porous silicon based mesa substrates: computer calculations

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Semiconductor science and technology 2003-01, Vol.18 (1), p.39-44
Hauptverfasser: Novikov, P L, Bolkhovityanov, Yu B, Pchelyakov, O P, Romanov, S I, Sokolov, L V
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0268-1242
1361-6641
DOI:10.1088/0268-1242/18/1/306