Specific behaviour of stress relaxation in GexSi1−x films grown on porous silicon based mesa substrates: computer calculations
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Veröffentlicht in: | Semiconductor science and technology 2003-01, Vol.18 (1), p.39-44 |
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Hauptverfasser: | , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0268-1242 1361-6641 |
DOI: | 10.1088/0268-1242/18/1/306 |