Theoretical overview of the large-area plasma processing system (LAPPS)

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Plasma sources science & technology 2000-08, Vol.9 (3), p.370-386
Hauptverfasser:	Manheimer, Wallace M, Fernsler, Richard F, Lampe, Martin, Meger, Robert A
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Exact sciences and technology Physics Physics of gases, plasmas and electric discharges Physics of plasmas and electric discharges Plasma applications
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