Experimental results of a dc glow discharge source with controlled plasma floating potential for plasma immersion ion implantation

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of physics. D, Applied physics Applied physics, 2000-07, Vol.33 (13), p.1592-1595
Hauptverfasser:	Berni, L A, Ueda, M, Gomes, G F, Beloto, A F, Reuther, H
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Electric discharges Exact sciences and technology Glow corona Ionization of plasmas Physics Physics of gases, plasmas and electric discharges Physics of plasmas and electric discharges Plasma applications Plasma properties
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!