Synthesis of polymer films by an electron emission CVD technique

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Plasmas and polymers 2002-09, Vol.7 (3), p.227-244
Hauptverfasser: JIANJUN WANG, BICA DE MORAES, Mario A, LANDERS, Richard, TRASFERETTI, Benedito C
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1084-0184
1572-8978
DOI:10.1023/A:1019986307860