Nanostructured silicon for studying fundamental aspects of nanomechanics

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Veröffentlicht in:	Journal of physics. Condensed matter 2002-09, Vol.14 (34), p.R905-R945
Hauptverfasser:	Blick, R H, Erbe, A, Pescini, L, Kraus, A, Scheible, D V, Beil, F W, Hoehberger, E, Hoerner, A, Kirschbaum, J, Lorenz, H, Kotthaus, J P
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Exact sciences and technology Instruments, apparatus, components and techniques common to several branches of physics and astronomy Mechanical engineering. Machine design Mechanical instruments, equipment and techniques Micromechanical devices and systems Physics Precision engineering, watch making
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